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赛默飞Helios 5 EXL晶片双束透射电子显微镜通过自动化样品制备加快产品量产时间

日期:2022年05月06日

       2021年4月20日, 上海——科学服务范畴的国际领导者赛默飞世尔科技(以下简称:赛默飞)宣告推出Helios5EXL晶片双束透射电子显微镜, 旨在满意半导体厂商跟着规模化运营而不断添加的样品量以及相应的剖析需求。
       这款产品具有的机器学习和先进的自动化才能, 可供给准确的样品制备, 以支撑5纳米以下节点络绎不绝和全盘绕栅极半导体制程以及良率前进。跟着半导体制程向着更小、更杂乱的方向开展, 半导体厂商需求更多可复现的、大批量的透射电子显微镜(以下简称:TEM)剖析成果。
       对原子级数据的需求的不断添加, 为繁忙的实验室使用先进的仪器设备来取得抱负成果带来扩展性方面的应战。全盘绕栅极络绎不绝的前进提升了关于接口、薄膜以及纳米级以下分辨率可测量截面更多的需求, 这也为大批量TEM剖析的晋级添加了难度。经过机器学习和闭环反应进行极点装备, Helios5EXL能供给准确切开,

使得操作者在进行高难度的样品制备时也能始终坚持高品质产出。与现有的处理计划比较, 改善的自动化络绎不绝优化了机器与人工操作的份额,

旨在最大化样品产出和络绎不绝资源生产率。
       “半导体实验室正面临着巨大的压力, 在不添加本钱的情况下,

他们需求更快地供给TEM剖析数据, 以支撑制程监控并提升学习曲线,

”赛默飞半导体事业部副总裁GlynDavies说道, “Helios5EXL能够经过可扩展的、可复现的和高精度的TEM样品制备来应对这一应战。”Helios5EXL在坚持晶片结构的完好度上, 能够协助半导体厂商从每个晶片中提取比现有处理计划更多的数据, 以前进TEM剖析成功率。关于赛默飞世尔科技赛默飞世尔科技是科学服务范畴的国际领导者。公司年销售额超越300亿美元。
       咱们的任务是协助客户使国际更健康、更清洁、更安全。
       咱们协助客户加快生命科学范畴的研讨、处理在剖析范畴所遇到的杂乱问题与应战、促进医疗确诊和医治的开展、前进实验室生产力。咱们全球超越80, 000名赛默飞职工将借助于一系列职业抢先的品牌ThermoScientific、AppliedBiosystems、Invitrogen、FisherScientific、UnityLabServices和Patheon, 为客户供给抢先的立异络绎不绝、快捷收购计划和全方位服务。

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